ការឆ្លាក់រូបធាតុគីមី
ការប្រើប្រាស់ Computer Aided Design (CAD)
ដំណើរការនៃការ etching លោហៈ photochemical ចាប់ផ្តើមជាមួយនឹងការបង្កើតការរចនាដោយប្រើ CAD ឬ Adobe Illustrator ។ទោះបីជាការរចនាជាជំហានដំបូងក្នុងដំណើរការក៏ដោយ វាមិនមែនជាការបញ្ចប់នៃការគណនាតាមកុំព្យូទ័រនោះទេ។នៅពេលដែលការបង្ហាញត្រូវបានបញ្ចប់ កម្រាស់នៃលោហៈត្រូវបានកំណត់ក៏ដូចជាចំនួនបំណែកដែលនឹងសមនៅលើសន្លឹក ដែលជាកត្តាចាំបាច់សម្រាប់កាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។ទិដ្ឋភាពទីពីរនៃកម្រាស់សន្លឹក គឺជាការកំណត់នៃភាពអត់ធ្មត់ផ្នែក ដែលដាក់លើវិមាត្រផ្នែក។
ដំណើរការនៃការ etching លោហៈ photochemical ចាប់ផ្តើមជាមួយនឹងការបង្កើតការរចនាដោយប្រើ CAD ឬ Adobe Illustrator ។ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយនេះមិនមែនជាការគណនាកុំព្យូទ័រតែមួយគត់ដែលពាក់ព័ន្ធនោះទេ។បន្ទាប់ពីបញ្ចប់ការរចនាកម្រាស់នៃលោហៈត្រូវបានកំណត់ក៏ដូចជាចំនួនបំណែកដែលអាចដាក់នៅលើសន្លឹកដើម្បីកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។លើសពីនេះ ភាពអត់ធ្មត់ផ្នែកអាស្រ័យលើវិមាត្រផ្នែក ដែលកត្តានេះក៏ជាកត្តានៃកម្រាស់របស់សន្លឹកផងដែរ។
ការរៀបចំលោហៈ
ដូចគ្នានឹងការឆ្លាក់អាស៊ីតដែរ លោហៈត្រូវលាងសម្អាតឱ្យបានហ្មត់ចត់មុនពេលដំណើរការ។បំណែកលោហៈនីមួយៗត្រូវបានជូត សម្អាត និងសម្អាតដោយប្រើសម្ពាធទឹក និងសារធាតុរំលាយស្រាល។ដំណើរការលុបបំបាត់ប្រេង សារធាតុកខ្វក់ និងភាគល្អិតតូចៗ។នេះគឺចាំបាច់ដើម្បីផ្តល់នូវផ្ទៃស្អាតរលោងសម្រាប់ការអនុវត្តនៃខ្សែភាពយន្ត photoresist ដើម្បីប្រកាន់ខ្ជាប់យ៉ាងមានសុវត្ថិភាព។
ការដាក់បន្ទះដែកជាមួយខ្សែភាពយន្តដែលធន់នឹងការថតរូប
Lamination គឺជាកម្មវិធីនៃខ្សែភាពយន្ត photoresist ។បន្ទះដែកត្រូវបានផ្លាស់ប្តូររវាង rollers ដែលស្រោបនិងអនុវត្តស្រទាប់រាបស្មើ។ដើម្បីជៀសវាងការប៉ះពាល់ដោយមិនសមរម្យនៃសន្លឹក ដំណើរការត្រូវបានបញ្ចប់ក្នុងបន្ទប់ដែលមានពន្លឺពណ៌លឿងដើម្បីការពារការប៉ះនឹងពន្លឺកាំរស្មី UV។ការតម្រឹមសន្លឹកឱ្យបានត្រឹមត្រូវត្រូវបានផ្តល់ដោយរន្ធដាល់នៅគែមសន្លឹក។ពពុះនៅក្នុងថ្នាំកូត laminated ត្រូវបានរារាំងដោយការខ្វះចន្លោះនៃការផ្សាភ្ជាប់សន្លឹកដែលធ្វើអោយស្រទាប់នៃ laminate រាបស្មើ។
ដើម្បីរៀបចំលោហៈសម្រាប់ការ etching លោហៈ photochemical វាត្រូវតែសម្អាតឱ្យបានហ្មត់ចត់ដើម្បីយកប្រេង សារធាតុកខ្វក់ និងភាគល្អិតចេញ។បំណែកលោហៈនីមួយៗត្រូវបានជូត សម្អាត និងលាងសម្អាតជាមួយនឹងសារធាតុរំលាយ និងសម្ពាធទឹកតិចតួច ដើម្បីធានាបាននូវផ្ទៃរលោង និងស្អាតសម្រាប់ការអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត photoresist ។
ជំហានបន្ទាប់គឺ lamination ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត photoresist ទៅសន្លឹកដែក។សន្លឹកត្រូវបានផ្លាស់ប្តូររវាង rollers ដើម្បីឱ្យថ្នាំកូតរាបស្មើនិងអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត។ដំណើរការនេះត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបន្ទប់ដែលមានពន្លឺពណ៌លឿងដើម្បីការពារការប៉ះពាល់នឹងពន្លឺកាំរស្មីយូវី។រន្ធដែលដាល់នៅគែមនៃសន្លឹកផ្តល់នូវការតម្រឹមត្រឹមត្រូវ ខណៈពេលដែលការផ្សាភ្ជាប់សុញ្ញកាសធ្វើឱ្យស្រទាប់នៃ laminate រាបស្មើ និងការពារពពុះពីការបង្កើត។
ដំណើរការ Photoresist
កំឡុងពេលដំណើរការ photoresist រូបភាពពី CAD ឬ Adobe Illustrator rendering ត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ photoresist នៅលើសន្លឹកដែក។ការបង្ហាញ CAD ឬ Adobe Illustrator ត្រូវបានផ្ដិតនៅលើផ្នែកទាំងសងខាងនៃសន្លឹកដែក ដោយកាត់វាពីលើ និងក្រោមលោហៈ។នៅពេលដែលសន្លឹកដែកបានអនុវត្តរូបភាព ពួកគេត្រូវបានប៉ះពាល់នឹងពន្លឺ UV ដែលដាក់រូបភាពជាអចិន្ត្រៃយ៍។នៅកន្លែងដែលពន្លឺកាំរស្មី UV ចាំងកាត់តាមតំបន់ច្បាស់លាស់នៃកម្រាលនោះ សារធាតុ photoresist នឹងរឹងមាំ និងរឹង។ផ្ទៃខ្មៅនៃកម្រាលឥដ្ឋនៅតែទន់ និងមិនរងឥទ្ធិពលពីពន្លឺកាំរស្មីយូវី។
នៅក្នុងដំណាក់កាលដំណើរការ photoresist នៃ photochemical etching រូបភាពពី CAD ឬ Adobe Illustrator design ត្រូវបានផ្ទេរទៅស្រទាប់ photoresist នៅលើសន្លឹកដែក។នេះត្រូវបានធ្វើដោយ Sandwich ការរចនាពីលើ និងក្រោមសន្លឹកដែក។នៅពេលដែលរូបភាពត្រូវបានអនុវត្តទៅសន្លឹកដែក វាត្រូវបានប៉ះពាល់នឹងពន្លឺកាំរស្មី UV ដែលធ្វើឱ្យរូបភាពមានភាពស្ថិតស្ថេរ។
កំឡុងពេលប៉ះនឹងកាំរស្មីយូវី តំបន់ច្បាស់លាស់នៃបន្ទះអនុញ្ញាតឱ្យពន្លឺកាំរស្មី UV ឆ្លងកាត់ ដែលបណ្តាលឱ្យ photoresist រឹង និងរឹងមាំ។ផ្ទុយទៅវិញផ្ទៃខ្មៅនៃកម្រាលឈើនៅតែទន់ ហើយមិនប៉ះពាល់ដោយពន្លឺកាំរស្មី UV ឡើយ។ដំណើរការនេះបង្កើតលំនាំដែលនឹងណែនាំដំណើរការនៃការ etching ដែលតំបន់រឹងនឹងនៅដដែល ហើយតំបន់ទន់នឹងត្រូវបាន etched ឆ្ងាយ។
ការអភិវឌ្ឍន៍សន្លឹក
ពីដំណើរការ photoresist សន្លឹកផ្លាស់ទីទៅម៉ាស៊ីនដែលកំពុងអភិវឌ្ឍដែលអនុវត្តដំណោះស្រាយអាល់កាឡាំង ដែលភាគច្រើនជាដំណោះស្រាយសូដ្យូម ឬប៉ូតាស្យូមកាបូណាត ដែលលាងជម្រះខ្សែភាពយន្ត photoresist ទន់ ដែលទុកផ្នែកដែលត្រូវឆ្លាក់ចេញ។ដំណើរការដកចេញនូវការទប់ទល់ទន់ ហើយទុកវត្ថុរឹងដែលជាផ្នែកដែលត្រូវឆ្លាក់។នៅក្នុងរូបភាពខាងក្រោម តំបន់រឹងមានពណ៌ខៀវ ហើយតំបន់ទន់មានពណ៌ប្រផេះ។ផ្ទៃដែលមិនត្រូវបានការពារដោយបន្ទះរឹងគឺជាលោហៈដែលលាតត្រដាង ដែលនឹងត្រូវបានយកចេញកំឡុងពេលឆ្លាក់។
បន្ទាប់ពីដំណាក់កាលដំណើរការ photoresist សន្លឹកដែកត្រូវបានផ្ទេរទៅម៉ាស៊ីនដែលកំពុងអភិវឌ្ឍ ដែលដំណោះស្រាយអាល់កាឡាំង ជាធម្មតាសូដ្យូម ឬប៉ូតាស្យូមកាបូណាតត្រូវបានអនុវត្ត។សូលុយស្យុងនេះលាងចេញនូវខ្សែភាពយន្ត photoresist ទន់ ដោយបន្សល់ទុកផ្នែកដែលចាំបាច់ត្រូវឆ្លាក់ចេញ។
ជាលទ្ធផល ការទប់ទល់ទន់ត្រូវបានដកចេញ ខណៈពេលដែលការទប់ទល់រឹង ដែលត្រូវនឹងផ្នែកដែលត្រូវគូសត្រូវទុកចោល។នៅក្នុងលំនាំលទ្ធផលតំបន់រឹងត្រូវបានបង្ហាញជាពណ៌ខៀវហើយតំបន់ទន់មានពណ៌ប្រផេះ។ផ្ទៃដែលមិនត្រូវបានការពារដោយការទប់ទល់រឹង តំណាងឱ្យលោហៈដែលលាតត្រដាង ដែលនឹងត្រូវបានយកចេញកំឡុងពេលដំណើរការ etching ។
ការឆ្លាក់
ដូចគ្នានឹងដំណើរការ etching អាស៊ីត សន្លឹកដែលបានអភិវឌ្ឍត្រូវបានដាក់នៅលើ conveyor ដែលផ្លាស់ទីសន្លឹកតាមរយៈម៉ាស៊ីនដែលចាក់ etchant នៅលើសន្លឹក។នៅកន្លែងដែល etchant ភ្ជាប់ជាមួយលោហៈដែលលាតត្រដាង វារំលាយលោហៈដែលបន្សល់ទុកនូវសម្ភារៈការពារ។
នៅក្នុងដំណើរការ photochemical ភាគច្រើន etchant គឺ ferric chloride ដែលត្រូវបានបាញ់ចេញពីបាត និងផ្នែកខាងលើនៃ conveyor ។Ferric chloride ត្រូវបានគេជ្រើសរើសជាសារធាតុផ្សំដោយសារតែវាមានសុវត្ថិភាពក្នុងការប្រើប្រាស់ និងអាចប្រើឡើងវិញបាន។Cupric chloride ត្រូវបានប្រើដើម្បីឆ្លាក់ទង់ដែង និងយ៉ាន់ស្ព័ររបស់វា។
ដំណើរការឆ្លាក់ត្រូវកំណត់ពេលវេលាដោយប្រុងប្រយ័ត្ន និងត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយអនុលោមតាមលោហធាតុដែលកំពុងឆ្លាក់ ដោយសារលោហៈខ្លះត្រូវការពេលយូរជាងក្នុងការឆ្លាក់។សម្រាប់ភាពជោគជ័យនៃការ etching photochemical ការត្រួតពិនិត្យ និងការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់។
នៅក្នុងដំណាក់កាល etching នៃការ etching លោហៈ photochemical សន្លឹកដែកដែលបានអភិវឌ្ឍត្រូវបានដាក់នៅលើ conveyor ដែលផ្លាស់ទីពួកវាតាមរយៈម៉ាស៊ីនដែល etchant ត្រូវបានចាក់ទៅលើសន្លឹក។សារធាតុ etchant រំលាយលោហៈដែលប៉ះពាល់ដោយបន្សល់ទុកតំបន់ការពារនៃសន្លឹក។
Ferric chloride ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅជាសារធាតុចម្រាញ់នៅក្នុងដំណើរការគីមីវិទ្យាភាគច្រើនព្រោះវាមានសុវត្ថិភាពក្នុងការប្រើប្រាស់និងអាចកែច្នៃឡើងវិញបាន។សម្រាប់ទង់ដែង និងយ៉ាន់ស្ព័ររបស់វា ក្លរួ cupric ត្រូវបានប្រើជំនួសវិញ។
ដំណើរការឆ្លាក់ត្រូវកំណត់ពេលវេលា និងគ្រប់គ្រងយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្ន ទៅតាមប្រភេទលោហៈដែលត្រូវឆ្លាក់ ព្រោះលោហៈខ្លះត្រូវការពេលវេលាឆ្លាក់យូរជាងប្រភេទផ្សេងទៀត។ដើម្បីធានាបាននូវភាពជោគជ័យនៃដំណើរការ etching photochemical ការត្រួតពិនិត្យ និងការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់។
ការដកខ្សែភាពយន្តទប់ទល់ដែលនៅសេសសល់
កំឡុងពេលដំណើរការច្រូត ប្រដាប់ឆ្នូតធន់នឹងត្រូវបានអនុវត្តទៅបំណែកដើម្បីយកខ្សែភាពយន្តទប់ទល់ដែលនៅសល់ចេញ។នៅពេលដែលការច្រូតត្រូវបានបញ្ចប់ផ្នែកដែលបានបញ្ចប់ត្រូវបានចាកចេញដែលអាចមើលឃើញនៅក្នុងរូបភាពខាងក្រោម។
បន្ទាប់ពីដំណើរការ etching ខ្សែភាពយន្ត resisting ដែលនៅសេសសល់នៅលើសន្លឹកដែកត្រូវបានដកចេញដោយអនុវត្តឧបករណ៍ឆ្នូតធន់។ដំណើរការនេះយកខ្សែភាពយន្តទប់ទល់ដែលនៅសល់ចេញពីផ្ទៃសន្លឹកដែក។
នៅពេលដែលដំណើរការនៃការច្រូតត្រូវបានបញ្ចប់ផ្នែកដែកដែលបានបញ្ចប់ត្រូវបានចាកចេញដែលអាចមើលឃើញនៅក្នុងរូបភាពលទ្ធផល។
