ការរៀបចំលោហៈ
ដូចគ្នានឹងការឆ្លាក់អាស៊ីតដែរ លោហៈត្រូវលាងសម្អាតឱ្យបានហ្មត់ចត់មុនពេលដំណើរការ។បំណែកលោហៈនីមួយៗត្រូវបានជូត សម្អាត និងសម្អាតដោយប្រើសម្ពាធទឹក និងសារធាតុរំលាយស្រាល។ដំណើរការលុបបំបាត់ប្រេង សារធាតុកខ្វក់ និងភាគល្អិតតូចៗ។នេះគឺចាំបាច់ដើម្បីផ្តល់នូវផ្ទៃស្អាតរលោងសម្រាប់ការអនុវត្តនៃខ្សែភាពយន្ត photoresist ដើម្បីប្រកាន់ខ្ជាប់យ៉ាងមានសុវត្ថិភាព។
ការដាក់បន្ទះដែកជាមួយខ្សែភាពយន្តដែលធន់នឹងការថតរូប
Lamination គឺជាកម្មវិធីនៃខ្សែភាពយន្ត photoresist ។បន្ទះដែកត្រូវបានផ្លាស់ប្តូររវាង rollers ដែលស្រោបនិងអនុវត្តស្រទាប់រាបស្មើ។ដើម្បីជៀសវាងការប៉ះពាល់ដោយមិនសមរម្យនៃសន្លឹក ដំណើរការត្រូវបានបញ្ចប់ក្នុងបន្ទប់ដែលមានពន្លឺពណ៌លឿងដើម្បីការពារការប៉ះនឹងពន្លឺកាំរស្មី UV។ការតម្រឹមសន្លឹកឱ្យបានត្រឹមត្រូវត្រូវបានផ្តល់ដោយរន្ធដាល់នៅគែមសន្លឹក។ពពុះនៅក្នុងថ្នាំកូត laminated ត្រូវបានរារាំងដោយការខ្វះចន្លោះនៃការផ្សាភ្ជាប់សន្លឹកដែលធ្វើអោយស្រទាប់នៃ laminate រាបស្មើ។
ដើម្បីរៀបចំលោហៈសម្រាប់ការ etching លោហៈ photochemical វាត្រូវតែសម្អាតឱ្យបានហ្មត់ចត់ដើម្បីយកប្រេង សារធាតុកខ្វក់ និងភាគល្អិតចេញ។បំណែកលោហៈនីមួយៗត្រូវបានជូត សម្អាត និងលាងសម្អាតជាមួយនឹងសារធាតុរំលាយ និងសម្ពាធទឹកតិចតួច ដើម្បីធានាបាននូវផ្ទៃរលោង និងស្អាតសម្រាប់ការអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត photoresist ។
ជំហានបន្ទាប់គឺ lamination ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត photoresist ទៅសន្លឹកដែក។សន្លឹកត្រូវបានផ្លាស់ប្តូររវាង rollers ដើម្បីឱ្យថ្នាំកូតរាបស្មើនិងអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត។ដំណើរការនេះត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបន្ទប់ដែលមានពន្លឺពណ៌លឿងដើម្បីការពារការប៉ះពាល់នឹងពន្លឺកាំរស្មីយូវី។រន្ធដែលដាល់នៅគែមនៃសន្លឹក ផ្តល់នូវការតម្រឹមត្រឹមត្រូវ ខណៈពេលដែលការផ្សាភ្ជាប់សុញ្ញកាសធ្វើឱ្យស្រទាប់នៃ laminate រាបស្មើ និងការពារពពុះពីការបង្កើត
